Mikro-elektro-mechanische Systeme (MEMS)

NM GmbH unterstützt durch Modellierung und Simulation F&E-Projekte im Bereich von MEMS. Wir haben eine grosse Erfahrung mit der Anwendung von FE-Methoden zur Analyse unterschiedlichster physikalischer Prozesse, die in mikro-elektro-mechanischen Systemen ablaufen.

Beispiel: Modellierung eines bimorphen Mikrospiegels

Ein Verbundprojekt zwischen NM GmbH und der Interstaatlichen Hochschule für Technik Buchs (NTB) demonstriert eindrücklich die Vorzüge des methodischen Ansatzes, den NM beim Engineering verfolgt. Projektziel war die Entwicklung eines bimorphen Mikrokippspiegels für die ophtalmologische Laserchirurgie. Während einer Operation muss der Spiegel eine schnelle und präzise Führung des Laserstrahls ermöglichen. Der Kippspiegel wird dazu an einer Si-Al-Struktur aufgehängt. Der Spiegel und seine Regelung wurden so in einem einzigen integrierten Schaltkreis zusammengefügt. Die Steuerung der Spiegelauslenkung basiert auf den unterschiedlichen elektro-thermo-mechanischen Eigenschaften von Silizium und Aluminium. Das gewählte Design erlaubte eine raumsparende Auslegung sowie eine massive Reduktion der Herstellungskosten.